郑州磨料磨具磨削研究所
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陶瓷载盘、修整环

 

 

  

 

    我所可根据客户的需要制作外径、厚度不等的晶片CMP抛光用陶瓷载盘、该工作盘可用于3、4、5、6英寸晶片的CMP抛光使用,其平面度、平行度高,组织致密均匀,部分产品已经达到进口产品水平,具有优越的性价比。还可根据用户的需要制作陶瓷修整环、陶瓷研磨盘等配件。

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